日本大学理工学部理工学研究所
マイクロ機能デバイス研究センター
Reserch Center for Micro Functional Devices
TOP
本センターの概要
設備紹介
研究テーマ一覧
研究業績
アクセス
お問い合わせ
リンク集
設備紹介
クリーンルーム
ICPエッチング装置
プラズマCVD装置
ドクターブレード
画面コンタクトアライナー
EB直描装置
陽極接合装置
デバイス作製装置
コンフォーカル顕微鏡
電気的特性測定システム
光学特性測定システム