クリーンルーム
一般的な空調が完備されている室内においても，1m3当たり数100万個程度の「ちり」や「ほこり」が存在しており，マイクロメートル（10-6 m）オーダーの微細加工をする際には，大きな問題となります。
そこで，本センター内には特殊なフィルタにより「ほこり」を排除した「クリーンルーム」を設けています。
また，クリーンルーム内に種々の装置・設備を設置することにより，各種微細加工を行っています。
クリーンルーム概要
- ダウンフロー方式
- 面積：207.4 m2
- クリーン度：クラス1000（一部クラス100）
- 使用可能ユーティリティ
- 高純度窒素および低純度窒素
- 圧縮空気
- 冷却水
- 各種電源
クリーンルーム