画面コンタクトアライナー

　

　本装置は，写真露光技術を用いて，ガラスマスク上に描画された微細なパターンを基板に転写するための紫外線露光装置です。また，上下に２対のアライメント光学系が配置されており，基板表面へのパターン転写位置を，裏面の構造を用いて正確に決定できるという特徴を有しています。本装置を用いることにより，基板両面に微細な構造を有する3次元微小機械デバイスや電子デバイスの作製が可能となります。

PEM-800