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マイクロ機能デバイス研究センター内には、 クラス１０００（一部クラス１００）の クリーンルーム（写真参照）が設けられており、 両面コンタクトアライナー、プラズマＣＶＤ装置、陽極接合装置、ICPドライエッチング装置など、電子デバイスおよびマイクロマシンを作製するために必要な設備が多数設置されています。

これらの機器・設備を利用して、 マイクロマシン、マイクロロボット、センサ、耐環境デバイス、ＡＩ素子、量子デバイスなどに関する研究が精力的に進められています。